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硼是半导体材料中最主要的杂质,而精确控制杂质浓度剖面是半导体工的扩散从理论与实验的结合方面进行了系统的讨论.
硅中注入硼的扩散
【摘 要】
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硼是半导体材料中最主要的杂质,而精确控制杂质浓度剖面是半导体工的扩散从理论与实验的结合方面进行了系统的讨论.
【机 构】
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长沙电力学院
【出 处】
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长沙电力学院学报(自然科学版)
【发表日期】
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2003年2期
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