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晶圆清洗之挑战和展望
晶圆清洗之挑战和展望
来源 :集成电路应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qingfeng112233
【摘 要】
:
可靠的电缆解决方案Gore公司的电缆应用于SMT生产设备和检测设备上的运动件,电缆直径小,重量轻,适用于中速到高速的往复运动件,也可满足清洁环境(无尘车间)要求。
【出 处】
:
集成电路应用
【发表日期】
:
2006年11期
【关键词】
:
往复运动件
展望
清洗
晶圆
检测设备
生产设备
清洁环境
电缆
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可靠的电缆解决方案Gore公司的电缆应用于SMT生产设备和检测设备上的运动件,电缆直径小,重量轻,适用于中速到高速的往复运动件,也可满足清洁环境(无尘车间)要求。
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