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在分析影响超精密金刚石车床伺了进给机构运动精度的误差源的基础上，不采取提高机床部件制造精度的方法，而从伺服进给机构的机械结构上提出消除这些误差的措施。这种措施主要包括：利用闭合的复合节流方式的气体静态压轨结构与在丝杠与工作台联接之间安装浮动单元。经过实践证明这些措施是有效的，使自研的超精密车床的伺服进给机构运动精度完全达到超精密加工的需求。