Fabrication and Properties of DC Magnetron Sputtered Indium Tin Oxide on Flexible Plastic Substrate

来源 :材料科学技术学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhangduanhua870505

【摘要】

：

Indium tin oxide (ITO) thin films deposited on flexible polyethylene terephthalate (PET) substrates at low temperature by DC magnetron sputtering from an In-Sn

【作者】

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Hui Lin Junsheng Yu Nana Wang

【机构】

：

StateKeyLaboratoryofElectronicThinFilmsandIntegratedDevices

【出处】

：

材料科学技术学报：英文版

【发表日期】

：

2009年1期

【关键词】

：

二极管柔性有机光氧化铟 DC溅射 Flexible Organic light-emitting diodes Indium tin oxide DC

【基金项目】

：

This work was partially supported by the National Nature Science Foundation of China under grant No. 60425101 and the Young Excellence Project of University of Electronic Science and Technology of Chi

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