包含衬底电流的LDD MOSFET输出I-V特性的经验模型分析

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ponsan

【摘要】

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采用双曲正切函数的经验描述方法和器件物理分析方法,建立了适用于亚微米、深亚微米的LDD MOSFET输出I-V特性解析模型,模型中重点考虑了衬底电流的作用.模拟结果与实验有很好

【作者】

：

Yu Chunli Hao Yue Yang Lin'an

【机构】

：

Institute of Microelectronics,西安电子科技大学微电子研究所

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

轻掺杂漏MOS场效应管衬底电流热载流子效应深亚微米 LDD MOSFET substrate current hot carrier effect dee

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采用双曲正切函数的经验描述方法和器件物理分析方法,建立了适用于亚微米、深亚微米的LDD MOSFET输出I-V特性解析模型,模型中重点考虑了衬底电流的作用.模拟结果与实验有很好的一致性.该解析模型计算简便,对小尺寸器件中的热载流子效应等能够提供较清晰的理论描述,因此适用于器件的优化设计及可靠性分析.

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