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分析了阳极键合技术的原理和当前阳极键合技术的研究进展,综述了微传感器对阳极键合的新需求,展望了阳极键合技术在传感器领域的应用前景.
阳极键合工艺进展及其在微传感器中的应用
【摘 要】
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分析了阳极键合技术的原理和当前阳极键合技术的研究进展,综述了微传感器对阳极键合的新需求,展望了阳极键合技术在传感器领域的应用前景.
【机 构】
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中国科学技术大学
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2002年11期
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