【摘 要】
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【正】 在光学表面粗糙度测量中,激光光学表面轮廓仪以其非接触测量,无需对作品表面进行镀膜处理,不受光学表面高度分布的限制,且高速和高精度,因而受到国内外光学测试专家的
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所201800
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【正】 在光学表面粗糙度测量中,激光光学表面轮廓仪以其非接触测量,无需对作品表面进行镀膜处理,不受光学表面高度分布的限制,且高速和高精度,因而受到国内外光学测试专家的重视。 各种类型和性能的激光光学表面轮廓仪的出现,标志着这一领域内所取得的成就。本文将介绍的是一种新型激光光学表面轮廓仪,它吸收了近几年来国内外对各种粗糙度测试仪研究的成果,应用多项技术和特殊设计使仪器可在普通的环境下正常运行,结构更简
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