二级减压气体流量精确控制方法

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对气体流量进行精确控制,仅采用流量控制阀控制时,流量的精度、稳定性很难保证.本文通过对气体流量方程进行理论分析,认为只有对节流阀两端压力差进行精确控制,才能保证流量控制精度,并介绍了精确控制的主要方法-二级减压控制法.
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