论文部分内容阅读
介绍微型真空传感器制作工艺的流程,阐述了清洗、氧化、光刻、腐蚀、扩散、键合等工艺的方法和特点,分析了制作工艺过程中出现的问题并提出解决的方法,最后对制作工艺进行总结。
微型真空传感器制作工艺的研究
【摘 要】
：
介绍微型真空传感器制作工艺的流程,阐述了清洗、氧化、光刻、腐蚀、扩散、键合等工艺的方法和特点,分析了制作工艺过程中出现的问题并提出解决的方法,最后对制作工艺进行总
【机 构】
：
厦门大学机电工程系
【出 处】
：
仪表技术
【发表日期】
：
2011年4期
其他文献
The benefits of using experiments in physics classes are widely discussed in the literature, but sometimes experimental setups are not available. In this paper
隐匿性乙型肝炎为乙型肝炎病毒（HBV）表面抗原（HBsAg）阴性的乙型肝炎病毒（HBV）感染，文献称为隐匿性（occult）或沉默性（silent）、潜在性（latent）HBV感染，是指血清HBsAg阴性，而在肝组织中有HBsAg
1 病例资料女,5岁.患儿于1个月前无明显诱因出现腰部疼痛,无放射痛,弯腰时明显,未治疗,后发展到骶髂关节、髋关节、膝关节、踝关节游走性疼痛,以左侧骶髂关节最为剧烈,在当地
The Problem of Identifying Possible Signals of Extra-Terrestrial Civilizations in the Framework of t
Aims: The purpose of this work is to formulate the requirements for future methods of searching for extra-terrestrial civilizations by use of the concepts of in
Counterfeiting is one of the most serious problems in the consumer market. One promising approach for anti-counterfeiting is to attach a low-cost Radio-frequenc
女，30岁。9年前确诊为狼疮性肾炎（lupus nephfits，LN），一直服用泼尼松治疗，3年后逐步减量至5mg／d，服药期间多次复查尿常规、自身抗体、补体、红细胞沉降率等指标，结果表明无复发和活动
试验采用微量稀释法测定黄芩苷对猪链球菌2型参考菌株的体外最小抑菌浓度,以及黄芩苷对猪链球菌生长曲线和溶血素活性的影响。结果显示:黄芩苷对猪链球菌2型参考菌株的最小抑
In this article we review some of the most important and relevant literature on the properties of ice. We focus on three of its surface properties, namely, the
低血糖脑病是指血糖浓度〈2．8mmol／l、脑部葡萄糖储量耗尽时所引起的一系列神经精神症状，最终可发生不可逆性脑损害，抢救不及时可致死亡。由于老年人脑血管疾病发病率高，发生低血