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透射式GaN阴极组件是GaN紫外目盲型探测器的最关键部件之一。介绍了制备透射式GaN阴极组件的工艺难点，主要报道了透紫玻璃与蓝宝石的热压粘结工艺的原理和研制过程，并着重分析了热压粘结工艺中出现的问题，同时提出了拟定的解决方案。
透紫玻璃与蓝宝石的热压粘结工艺研究
【摘 要】
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透射式GaN阴极组件是GaN紫外目盲型探测器的最关键部件之一。介绍了制备透射式GaN阴极组件的工艺难点，主要报道了透紫玻璃与蓝宝石的热压粘结工艺的原理和研制过程，并着重分析
【机 构】
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中国电子科技集团公司第五十五研究所
【出 处】
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光电子技术
【发表日期】
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2010年3期
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