感应耦合等离子体中和枪的电子引出特性研究

来源 :核聚变与等离子体物理 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wuliaocanglang

【摘要】

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给出了一种感应耦合等离子体源的设计,用于等离子体中和枪装置.通过实验方法研究等离子体源的电子引出特性,并结合理论分析了等离子体密度随射频功率的变化关系.研究结果表明

【作者】

：

罗先文

【机构】

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桂林理工大学,桂林 641006

【出处】

：

核聚变与等离子体物理

【发表日期】

：

2021年2期

【关键词】

：

等离子体中和枪感应耦合等离子体电子引出特性

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给出了一种感应耦合等离子体源的设计,用于等离子体中和枪装置.通过实验方法研究等离子体源的电子引出特性,并结合理论分析了等离子体密度随射频功率的变化关系.研究结果表明等离子体源的电子引出特性与放电腔内气压有关联性,E?H模式转换中电子密度的变化与负载的电感值相关.研究成果对等离子体中和枪的发展有重要的参考价值.

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