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Ｅｅ－ＢＥＳ－４０光栅扫描电子束曝光机全部实现自动控制，为用户操作带来极大方便。本文简要论述该机的构成及调试中遇到的问题，重点论述真空自动化，送片机构的自动化，以及电子光柱调整的自动化。
Ee—BES—40A全自动电子束曝光机
【摘 要】
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Ｅｅ－ＢＥＳ－４０光栅扫描电子束曝光机全部实现自动控制，为用户操作带来极大方便。本文简要论述该机的构成及调试中遇到的问题，重点论述真空自动化，送片机构的自动化，以及电子光柱调整的自动化。
【机 构】
：
中科院电工研究所
【出 处】
：
微细加工技术
【发表日期】
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1996年3期
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