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针对通用于一般机构和微、纳机电系统（MEMS/NEMS）的微动磨损测试,新研制了低频往复式微动磨损测试系统。采用微压痕式直接标定方法,首先标定垂直、侧向加载测试的传感器灵敏度,再用标定的传感器进行了电磁加载微测量头装置的机构刚度标定。实验结果表明：垂直、侧向分别加载得到的机构刚度值偏差小,电磁加载微测量头装置可靠性、实验一致性好。