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利用四极质谱计测试了国产金属铍材在100℃～600℃不同温度下的真空出气成分及相对含量,实验得出铍的大量出气主要在温度400℃～500℃之间,其放出气体的主要成分按放气量大小依次为H2O,CO2,N2,CO,Ar和H2,利用限流小孔半定量的计算了铍材的出气量.
金属Be真空出气性能的测试
【摘 要】
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利用四极质谱计测试了国产金属铍材在100℃～600℃不同温度下的真空出气成分及相对含量,实验得出铍的大量出气主要在温度400℃～500℃之间,其放出气体的主要成分按放气量大小依次
【机 构】
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清华大学电子工程系
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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2002年6期
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