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采用扫描电镜分析了蒸发金熔化凝固后表层以及蒸镀后在芯片表面形成的黑色颗粒的形貌和成分。试验结果表明：该黑色颗粒成分主要为金,是其蒸发金和芯片表层与碳、氧等非金属杂质相混合,而非长期以来认为的石墨（碳）颗粒;分析确定了非金属杂质的来源,并从熔炼以及拉丝工艺环节提出了改进措施。
蒸发金和芯片表层黑色颗粒分析
【摘 要】
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采用扫描电镜分析了蒸发金熔化凝固后表层以及蒸镀后在芯片表面形成的黑色颗粒的形貌和成分。试验结果表明：该黑色颗粒成分主要为金,是其蒸发金和芯片表层与碳、氧等非金属杂
【机 构】
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山东招金集团有限公司,山东大学材料与科学工程学院,烟台招金励福贵金属股份有限公司,神华国华北京电力研究院有限公司
【出 处】
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黄金
【发表日期】
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2015年11期
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