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期刊论文
位相板在大型几何量形位误差测量中的应用
位相板在大型几何量形位误差测量中的应用
来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:feager2
【摘 要】
:
介绍了利用位相板技术进行准直的工作原理和特点,以及如何利用该项技术有效地胡定激光准直光束的几何基准,并介绍了以此技术为基础 的光学其准在大型几何量形位误差测量中的应
【作 者】
:
郝群
【机 构】
:
清华大学精仪系
【出 处】
:
光学精密工程
【发表日期】
:
1998年4期
【关键词】
:
位相板
形位误差
大尺寸测量
几何量
Phase plate
Form and position error
Large scale measurement
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介绍了利用位相板技术进行准直的工作原理和特点,以及如何利用该项技术有效地胡定激光准直光束的几何基准,并介绍了以此技术为基础 的光学其准在大型几何量形位误差测量中的应用。
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