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从欧姆接触形成的机理出发，介绍了在AlGaN／GaN HEMT中实现源和漏区欧姆接触的各种方法，如表面处理技术、金属化系统和重掺杂技术等。回顾了近年来这些方法的研究进展。
AlGaN/GaN HEMT欧姆接触的研究进展
【摘 要】
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从欧姆接触形成的机理出发，介绍了在AlGaN／GaN HEMT中实现源和漏区欧姆接触的各种方法，如表面处理技术、金属化系统和重掺杂技术等。回顾了近年来这些方法的研究进展。
【机 构】
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武汉大学物理科学与技术学院,中国电子科技集团公司第十三研究所
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2007年1期
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