【摘 要】
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为实现对望远镜系统中光学元件表面缺陷在线检测,介绍了一种用于光学元件表面缺陷检测的变焦距成像光学系统,采用机械变焦形式实现变焦功能。根据望远镜系统技术要求计算出变
【机 构】
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中国科学院光束控制重点实验室,中国科学院光电技术研究所,中国科学院大学
【基金项目】
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脉冲功率激光技术国家重点实验室开放基金资助项目(SKL2018KF05)
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为实现对望远镜系统中光学元件表面缺陷在线检测,介绍了一种用于光学元件表面缺陷检测的变焦距成像光学系统,采用机械变焦形式实现变焦功能。根据望远镜系统技术要求计算出变焦距系统的关键参数,通过Zemax软件设计并优化得到最终结果,整个变焦系统的设计实现了90mm~540mm的6倍变焦,在变焦过程中F数和像面位置保持不变,变焦系统总长为553.1mm。从调制传递函数(MTF)、点列图2个方面分析了系统的成像质量,系统在各焦距处的MTF值在100lp/mm处均大于0.3,物方分辨率优于0.055mm,在不同焦距处弥
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