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目的研究衬底温度对ZnO薄膜结构和发光性能的影响及薄膜结构与发光性能两者之间的关系。方法在玻璃衬底上采用射频磁控溅射法,固定其他工艺参数、改变衬底温度制备ZnO薄膜。对薄膜进行XRD谱和室温光致发光（PL）谱研究。结果衬底温度在25℃到250℃之间,随着温度的升高,结晶质量变好,且紫外发光相对明显增强。在衬底温度为250℃时,结晶质量和发光性能均达到最优化。继续升高衬底温度,结晶质量和发光性能都下降。结论衬底温度对ZnO薄膜的制备有着重要的影响;薄膜发光性能与结晶质量密切相关,结晶质量越好,紫外发光相对强