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低温等离子体是空间主要环境之一,近年来被广泛应用于材料表面改性、能源、航空、环境科学及国防等方面。本文介绍了等离子体诊断的常用方法和适用范围。认为准确进行等离子体诊断取决于两大因素：一是测量准确度（灵敏度）;二是测试系统对等离子体产生的扰动较小。
低温等离子体诊断分析
【摘 要】
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低温等离子体是空间主要环境之一,近年来被广泛应用于材料表面改性、能源、航空、环境科学及国防等方面。本文介绍了等离子体诊断的常用方法和适用范围。认为准确进行等离子
【机 构】
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沈阳理工大学装备工程学院,北京理工大学爆炸科学与技术国家重点实验室
【出 处】
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电工材料
【发表日期】
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2008年2期
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