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研究了电子浴辅助阴极电弧源法合成AlN薄膜的形核生长过程，并对生长机理进行了初步的探讨。
电子浴辅助阴极电弧源法合成AlN薄膜机理初探
【摘 要】
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研究了电子浴辅助阴极电弧源法合成AlN薄膜的形核生长过程，并对生长机理进行了初步的探讨。
【机 构】
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太原理工大学表面工程研究所
【出 处】
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热加工工艺
【发表日期】
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2001年1期
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