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射频(RF)系统芯片(SoC)一直是业界追求的理想器件,目的是为了让无线通信产品轻薄短小.本文将简介如何利用MEMS工艺来改善元件特性,以证明RF MEMS对于射频SoC不只可行而且更是势在必行.
以MEMS技术实现射频单芯片
【摘 要】
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射频(RF)系统芯片(SoC)一直是业界追求的理想器件,目的是为了让无线通信产品轻薄短小.本文将简介如何利用MEMS工艺来改善元件特性,以证明RF MEMS对于射频SoC不只可行而且更是
【机 构】
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台湾大学电子所
【出 处】
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电子产品世界
【发表日期】
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2004年03A期
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