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本文采用真空蒸发法,在玻璃衬底上制备了稀土元素 Dy掺杂的ZnTe薄膜。利用 X 射线衍射仪、原子力显微镜、紫外-可见分光光度计、XPS对薄膜的物相结构、表面形貌、光学特性、元素成分等进行了测试。 XRD测试结果表明,薄膜的结构均为立方晶系闪锌矿结构,择优取向为(111)晶面, Dy掺杂会使(111)峰强减弱;透射光谱表明 Dy 掺杂会使薄膜的光学带隙减小;XPS 分析表明,薄膜的主要成分为ZnTe ,掺杂后Zn和Te的特征峰均向高能端发生移动。。