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<正> 引言利用半导体的特性制造电子器件是近代科学对人类生活最伟大的贡献。在约四十多年前。这种技术刚发明时,科学家将特定的杂质植入半导体内,杂质元素能跟半导体晶格产生原子键结而使其具有导电特性。如果在半导体硅片上有符合电路设计的导体
浅谈超浅结的制程
【摘 要】
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<正> 引言利用半导体的特性制造电子器件是近代科学对人类生活最伟大的贡献。在约四十多年前。这种技术刚发明时,科学家将特定的杂质植入半导体内,杂质元素能跟半导体晶格产
【机 构】
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亚舍立科技股份有限公司博士
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2002年11期
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