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SU-8光胶因具有良好的光刻性能，并可获得稳定的高深宽比而在微加工领域得到了广泛的应用。众多研究采用不同的光源对其进行了多种光刻研究，本文应用355nm激光对SU-8胶进行曝光，分别采用XPS谱和FT—IR谱分析了SU-8胶与激光相互作用过程中，355nm激光对SU-8胶的作用以及反应前后主要成分含量、分子结构的变化，初步探讨了SU-8胶中激光曝光能量与透入深度的关系。