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在扫描电子显微镜中背散射电子像是一种很常用的电子图像.要得到一幅清晰、理想的背散射电子像,对于不同型号的探测器其最佳工作距离不同、应根据尺寸和形状计算其最佳工作距离.
环形固体背散射探测器的最佳检测距离
【摘 要】
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在扫描电子显微镜中背散射电子像是一种很常用的电子图像.要得到一幅清晰、理想的背散射电子像,对于不同型号的探测器其最佳工作距离不同、应根据尺寸和形状计算其最佳工作距
【机 构】
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信息产业部电子五所(广东广州)
【出 处】
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第二届全国扫描电子显微学会议
【发表日期】
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2003年11期
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