【摘 要】
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为了兼顾叉指背接触(IBC)太阳电池背表面场(BSF)区域的钝化性能和接触性能,在现有IBC太阳电池制备工艺基础上引入离子注入技术,对电池背表面场区域进行磷离子注入.研究了不同磷离子注入剂量对IBC电池钝化性能和接触性能的影响,并研究了烧结工艺对IBC电池接触性能的影响.实验结果表明,当磷离子注入剂量为6.6×1014～6.8×1014 ions/cm2、烧结温度为840℃、烧结带速为9.4 m/min时,背表面场区域可同时获得良好的钝化性能和接触性能,制备的IBC电池最高光电转换效率可达24.38％,平
【机 构】
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青海黄河上游水电开发有限责任公司西安太阳能电力分公司,西安 710100
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为了兼顾叉指背接触(IBC)太阳电池背表面场(BSF)区域的钝化性能和接触性能,在现有IBC太阳电池制备工艺基础上引入离子注入技术,对电池背表面场区域进行磷离子注入.研究了不同磷离子注入剂量对IBC电池钝化性能和接触性能的影响,并研究了烧结工艺对IBC电池接触性能的影响.实验结果表明,当磷离子注入剂量为6.6×1014～6.8×1014 ions/cm2、烧结温度为840℃、烧结带速为9.4 m/min时,背表面场区域可同时获得良好的钝化性能和接触性能,制备的IBC电池最高光电转换效率可达24.38％,平均光电转换效率可达24.21％,对应的短路电流密度为42.553 mA/cm2,开路电压为701.9 mV,填充因子为81.35％.
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