光栅微振动测试传感技术的研究

来源 :纳米技术与精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jian47312144
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提出了一种微弱地震波信号新的检波理论和方法.设计了一种测微振动传感器,采用光栅谐振子为敏感元件,将地震的机械信号转换成光调制信号--莫尔条纹,再用光电器件将其转换成数字化电信号.采用80倍细分技术,使传感器分辨力达到125 nm;用MATLAB软件对PIC单片机记录的信号进行振动过程重构.结构中设计了横向限振片和光栅调节器,对光栅间隙、光栅间纵横向夹角进行调节,有效地限制了光栅间隙及角度的变化产生的误差.同时也校正了光栅的累积误差.有效地抑制了横向振动,提高了系统精度,同时可降低对该系统的横向限振要求,有
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