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采用氢化技术将四氯化硅转化为三氯氢硅是目前四氯化硅得到合理利用的有效手段。以此为主线，在已有研究工作和生产经验的基础上，从原理上分析了四氯化硅氢化反应，总结了影响氢化转化率的主要因素，提出了合理化建议，为多晶硅的生产提供了有价值的参考。
SiCl4氢化技术的应用现状及研究进展
【摘 要】
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采用氢化技术将四氯化硅转化为三氯氢硅是目前四氯化硅得到合理利用的有效手段。以此为主线，在已有研究工作和生产经验的基础上，从原理上分析了四氯化硅氢化反应，总结了影响氢化
【机 构】
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昆明冶研新材料股份有限公司
【出 处】
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材料导报：纳米与新材料专辑
【发表日期】
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2013年1期
【基金项目】
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云南省国际科技合作专项,云南省产业重大关键技术开发专项,昆明冶研新材料股份有限公司科技项目（KMYY-C1301）
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