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在微观结构中，摩擦及磨损严重地影响着部件的力学性能和可能性不同材料的摩擦系数相差很大，多晶硅和多晶硅之间的静摩擦系数约４．９，多晶硅和单晶硅之间的静摩擦系数约０．４８￣０．２８，动摩擦系数约０．３５￣０．２０，材料表面的粗糙度对摩擦系数影响也很大。鉴于此，提出了一种单晶硅台面结构晃动微马达，取代多同机械工艺制作的多晶硅法兰盘。它具有机械强度高、摩擦系数、抗磨损、不塌陷等优点，马达的轴也加工成实心轴