论文部分内容阅读
从机构设计、驱动方式、控制策略以及实时监测等方面对用于微电子制造的高速高精度运动系统关键技术进行综述.提出有待深入研究的方向:1)并联机构在系统中的应用;2)解决柔性结构振动问题的控制策略;3)用于实时动态全闭环控制模式的视觉伺服技术.
用于微电子制造的高速高精度运动系统关键技术
【摘 要】
：
从机构设计、驱动方式、控制策略以及实时监测等方面对用于微电子制造的高速高精度运动系统关键技术进行综述.提出有待深入研究的方向:1)并联机构在系统中的应用;2)解决柔性
【机 构】
：
清华大学深圳研究生院
【出 处】
：
半导体技术
【发表日期】
：
2003年3期
其他文献
目的比较骨髓细胞形态学和流式细胞术在非霍奇金淋巴瘤(NHL)骨髓侵犯诊断中的价值。方法选取2015年6月至2018年11月兰州大学第一医院收治的初诊疑似NHL骨髓侵犯患者150例,分
代谢综合征(MS)自提出以来备受学者关注,其终点事件发生率高,特别是心脑血管事件已位居死亡三大原因之首,严重威胁人类健康。MS的发生发展受多种危险因素的影响,主要包括年龄
肝细胞癌(HCC)在我国的发病率高、预后差,因此早期诊断、合理治疗对改善患者的预后至关重要。近年来,超声造影(CEUS)技术和超声弹性成像(UE)技术快速发展,显著提高了超声技术