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利用从金属蒸汽真空弧离子源（简称ＭＢＶＶＡ源）引出的强束流钼离子对纯铝进行了不同束流密度的离子注入。加速电压为４８ｋＶ，剂量为３×１０￣（１７）ｃｍ￣（－２），束流密度为２５和４７μＡ·ｃｍ￣（－２），Ｘ衍射分析证明在注入层内可形成Ａｌ＿（１２）Ｍｏ晶体，背散射（ＲＢＳ）分析证明Ａｌ＿（１２）Ｍｏ的厚度可达６００至７００ｎｍ。