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本文对p-CaN与Ni/Pt形成欧姆接触及其电流传输机制进行了研究。I—V变温测试曲线是线形的,表明Ni/Pt与p-GaN之所以能形成欧姆接触,是因为Ni/Pt与p-CaN接触在空气中退火时界面处的p-CaN空穴浓度增加了,从而降低了有效势垒高度。在148K-323K范围内,单位接触电阻RC随测试温度T的升高趋于呈指数下降,表明Ni/Pt与p-CaN欧姆接触的电流传输机制遵循热电子发射。