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本文简要介绍了ＪＢＸ－６Ⅱ电子束曝光机用计算机控制系统的改进，升级情况。文章首先对控制系统作了简单分析，从提高系统工作的稳定性与可靠性出发，进而叙述了更新硬盘的技术问题以及对操作系统的升级，并给出了生成操作系统过程中数据分区实例。
JBX—6AⅡ变形电子束曝光机的计算机控制系统的改进与升级
【摘 要】
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本文简要介绍了ＪＢＸ－６Ⅱ电子束曝光机用计算机控制系统的改进，升级情况。文章首先对控制系统作了简单分析，从提高系统工作的稳定性与可靠性出发，进而叙述了更新硬盘的技术问题以及对操
【机 构】
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中国科学院电工研究所
【出 处】
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电工电能新技术
【发表日期】
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1996年4期
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