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阐述了准分子激光加工及其特点，并着重介绍了准分子激光在微细加工和微电子制造业中的应用，以及对于不同材料的应用情况。
准分子激光加工的应用
【摘 要】
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阐述了准分子激光加工及其特点，并着重介绍了准分子激光在微细加工和微电子制造业中的应用，以及对于不同材料的应用情况。
【机 构】
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北京航空工艺研究所
【出 处】
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航空工艺技术
【发表日期】
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1998年4期
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