金属膜场发射特性研究

来源 :有色金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：aaa6862876

【摘要】

：

结合真空电子束气相沉积(electron beam evaporation deposition, EBVD)和磁控溅射(magnetron sputtering deposition, MSD)技术,分别在Al2O3陶瓷衬底上制备以Cu膜为发射层的

【作者】

：

王丽军郭媚媚王小平

【机构】

：

上海理工大学理学院

【出处】

：

有色金属材料与工程

【发表日期】

：

2019年6期

【关键词】

：

金属复合膜场发射电子束气相沉积 metallic composite filmfield emissionelectron beam vapor depos

【基金项目】

：

上海市教委重点创新项目(14ZZ137)

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结合真空电子束气相沉积(electron beam evaporation deposition, EBVD)和磁控溅射(magnetron sputtering deposition, MSD)技术,分别在Al2O3陶瓷衬底上制备以Cu膜为发射层的单一Cu膜和Mo/Cu复合膜及Mo/Ni/Cu复合膜3种结构阴极薄膜。基于二极管场发射器件结构,研究了各样品的场发射特性。利用场发射扫描电子显微镜(field emission scanning electron microscopy, FE-SEM)和能谱仪

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