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电子束蒸发台是制作半导体、光电器件的必要设备，对器件的性能有很大的影响。本文就美国ＳＣ－４５００电子束蒸发台关键部分电源原理及故障现象进行阐述和分析，并给出该部分故障检测、维修方法流程图。
SC-4500电子束蒸发台高压电源电路原理及故障分析
【摘 要】
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电子束蒸发台是制作半导体、光电器件的必要设备，对器件的性能有很大的影响。本文就美国ＳＣ－４５００电子束蒸发台关键部分电源原理及故障现象进行阐述和分析，并给出该部分故障检测、维修方
【机 构】
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南京电子器件研究所
【出 处】
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光电子技术
【发表日期】
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1999年4期
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