【摘 要】
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在正常制作能力为5mil/5mil的设备的基础上,对3mil/3mil细线路的制作进行了初步的研究,对其基铜的选择、线路的设计、电镀、图形转移和蚀刻的条件做了研究。
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在正常制作能力为5mil/5mil的设备的基础上,对3mil/3mil细线路的制作进行了初步的研究,对其基铜的选择、线路的设计、电镀、图形转移和蚀刻的条件做了研究。
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