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期刊论文
净化搬运机械手及其控制系统
净化搬运机械手及其控制系统
来源 :机械与电子 | 被引量 : 0次 | 上传用户:iamfly2000
【摘 要】
:
介绍净化搬运机械手的总体结构和主从配置的控制系统。它能在完成工作的同时 ,又能与洁净微环境接口密闭。经实际应用 ,效果良好。
【作 者】
:
陈绍丽
吴俊民
孟宪超
【机 构】
:
哈尔滨工业大学机器人研究所
【出 处】
:
机械与电子
【发表日期】
:
2001年04期
【关键词】
:
净化搬运机械手
晶片架
洁净微环境
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介绍净化搬运机械手的总体结构和主从配置的控制系统。它能在完成工作的同时 ,又能与洁净微环境接口密闭。经实际应用 ,效果良好。
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