【摘 要】
：
针对结构参数对TSV可靠性影响不明确的问题,文中采用有限元分析和模型简化的方法,分析了TSV结构在温度循环条件下的应力应变分布,并进一步研究了铜柱直径、SiO 2层厚度以及TS
【基金项目】
：
北京市自然科学基金(4172065)
论文部分内容阅读
针对结构参数对TSV可靠性影响不明确的问题,文中采用有限元分析和模型简化的方法,分析了TSV结构在温度循环条件下的应力应变分布,并进一步研究了铜柱直径、SiO 2层厚度以及TSV节距等结构参数对TSV结构可靠性的影响。结果表明,采用文中的方法简化模型后得出的结果拟合度在0.95以上;在TSV结构上施加温度循环载荷时,在SiO 2界面会出现应力集中,而在钝化层中会出现应变增大;改变铜柱直径、绝缘层厚度和TSV节距将显著影响TSV结构的可靠性;减小填充铜的直径、增加SiO 2层的厚度、增加TSV节距,都将有助
其他文献
本文从基层审计机关在政府投资跟踪审计工作中的具体做法及取得的成效出发,粗浅的分析了当前政府投资跟踪审计存在的问题,对如何做好政府投资跟踪审计,提出了跟踪审计措施建
目的研究在子痫前期高危孕妇中采取小剂量阿司匹林治疗的临床应用价值。方法本次参照不同治疗方案对2017年2月～2018年2月期间我院参与收入以及诊治的62例子痫前期高危孕妇实施
在数字通信系统中，同步技术是非常重要的，是正确解调的前提，而位同步是最基本的同步。本文基于gardner算法，分析了采样频偏对接收信号的影响。给出了定时同步的结构和计算方法。
随着社会的发展与时代的进步,我们国家近几年的经济水平有了全面的提升,国民经济水平也在稳步的进行发展。经济的快速发展,无疑将会带动很多行业的共同发展。现阶段的人们,在
<正>校园生活中蕴藏着丰富的品德课程资源,教师要善于开发和利用这些资源,基于学生的日常校园生活,捕捉活动瞬间、校园日常生活场景,发挥校园文化的作用,以此激活学生的学习