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采用改进的Turner法制备近场光学显微镜光纤探针，考察了外界因素、腐蚀溶液及保护液体系性质等对探针形貌的影响，并与管式腐蚀方法制备的光纤探针的形貌进行了对比，对Turner法制备光纤探针的工艺进行了改进．结果表明：升高反应温度可明显提高反应速度，温度由0℃升至32℃时，反应速度增加1．6倍；腐蚀溶液浓度越高，制备的探针锥长越短、表面越粗糙；适当延长反应时间可增大探针的锥角；Turner法制备光纤探针时探针锥面蜂窝状粗糙形貌是光纤探针成尖过程的本质缺陷造成的；采用第二次修饰性腐蚀可以有效地改进探针的粗糙锥