【摘 要】
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本文利用超声显微镜技术中的V(z)曲线,无损伤地测量了压电陶瓷表面上不同点声表面波(瑞利波)速度,定量地分析了陶瓷的一致性。同时又根据V(z)曲线中周期的起伏,定性地给出了
【机 构】
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南京大学声学研究所,南京大学声学研究所,Department of Electronic and Electrical Engineering University College London,U.
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本文利用超声显微镜技术中的V(z)曲线,无损伤地测量了压电陶瓷表面上不同点声表面波(瑞利波)速度,定量地分析了陶瓷的一致性。同时又根据V(z)曲线中周期的起伏,定性地给出了表面颗粒均匀性及缺陷存在的可能性。文中给出了几种不同陶瓷材料的实验数据及分析结果,并简单地描述了V(z)曲线的理论与声表面波(瑞利波)速度的计算公式、测试方法。
In this paper, the V (z) curve of ultrasonic microscopy was used to measure the velocity of the surface acoustic wave (Rayleigh wave) at different points on the piezoelectric ceramic without damage. The consistency of the ceramic was quantitatively analyzed. At the same time, according to the periodic fluctuations in V (z) curves, the possibility of surface particle uniformity and defects is given qualitatively. In this paper, the experimental data and analysis results of several different ceramic materials are given, and the theory of V (z) curve and the calculation formula and test method of surface acoustic wave velocity (Rayleigh wave) are briefly described.
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