【摘 要】
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<正> 微电子机械系统MEMS从80年代开始应用于医疗领域,其中产生了各种硅压力传感器和硅加速度计,以及一些自定义的特殊微结构.这些产品具有比其它类型的产品更多的优势,如体
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<正> 微电子机械系统MEMS从80年代开始应用于医疗领域,其中产生了各种硅压力传感器和硅加速度计,以及一些自定义的特殊微结构.这些产品具有比其它类型的产品更多的优势,如体积小、性能稳定,且价格便宜,同时用来进行硅电子元件生产的大多数晶片加工仪器都可以用来生产这种硅传感器.由于医疗所需的传感器要特别可靠,而硅有着近乎完美的弹性且不会产生长时间蠕变,这使其特别适于医疗应用.
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