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叙述了用气相色谱法分析电子混合气中磷烷(PH3)的含量。当采用热导池为检测器，氢为载气，Porapak—Q型填料的色谱柱，在严格控制载气流速、色谱柱温度和热导池温度的条件下，可测定出以H2、N2、Ar、He为底气的混合气中PH3的含量，分析结果的相对标准偏差小于5％。
气相色谱法测定电子混合气中磷烷含量
【摘 要】
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叙述了用气相色谱法分析电子混合气中磷烷(PH3)的含量。当采用热导池为检测器，氢为载气，Porapak—Q型填料的色谱柱，在严格控制载气流速、色谱柱温度和热导池温度的条件下，可测定
【机 构】
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化工部光明化工研究所
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1988年4期
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