【摘 要】
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QMEMS陀螺仪的运作原理相较于传统用于测量角位移的陀螺仪,今天的MEMS振动式陀螺仪传感器（VibratoryGyro Sensor）可用来测量以度/秒为单位的角速度,又分为压电式（Piezoelectric）
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QMEMS陀螺仪的运作原理相较于传统用于测量角位移的陀螺仪,今天的MEMS振动式陀螺仪传感器（VibratoryGyro Sensor）可用来测量以度/秒为单位的角速度,又分为压电式（Piezoelectric）和硅工艺式（SiliconType）两种，见图1。这类传感器是运用柯氏力效应（CoriolisEffect）的原理所发展出来的测量技术。
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