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少数载流子寿命是半导体晶体硅材料的一项重要参数,它对半导体器件的性能、晶体硅太阳能电池的光电转换效率都有重要的影响。本文综述了在多晶硅等级判定与铸锭过程中少子的检测方法,其中包括了国内外检测标准与方法原理,以及在实际检测过程中少子寿命与基体金属的关系。
多晶硅及硅片少子寿命的检测与分析
【摘 要】
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少数载流子寿命是半导体晶体硅材料的一项重要参数,它对半导体器件的性能、晶体硅太阳能电池的光电转换效率都有重要的影响。本文综述了在多晶硅等级判定与铸锭过程中少子的
【机 构】
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内蒙古神舟硅业有限责任公司
【出 处】
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内蒙古石油化工
【发表日期】
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2013年12期
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