【摘 要】
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主要阐述了一种新型电磁驱动微泵的设计和制作工艺。该微泵结构简单 ,由驱动线圈、硅橡胶振动膜和无阀泵泵体组成 ,采用硅加工工艺和非硅加工工艺 (电镀 )相结合进行制作。采
【机 构】
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上海交通大学微米纳米技术研究院,上海交通大学微米纳米技术研究院,上海交通大学微米纳米技术研究院 200030,200030,200030
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主要阐述了一种新型电磁驱动微泵的设计和制作工艺。该微泵结构简单 ,由驱动线圈、硅橡胶振动膜和无阀泵泵体组成 ,采用硅加工工艺和非硅加工工艺 (电镀 )相结合进行制作。采用模压法和硅橡胶加工方法将振动膜直接做在一个硅片上 ;用电镀和硅体加工工艺制作驱动线圈和无阀泵泵体 ,然后将 3个基片键合在一起。
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