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利用射频磁控溅射法，在SSiC陶瓷表面沉积一层无定形Si—C-O-N涂层，测试了抛光后的涂层和SSiC陶瓷在不同波段的反射率情况。结果表明：在软X射线波段，涂层的反射率小于SSiC陶瓷；在EUV波段，两者反射率基本相当；在UV—VIS—NIR波段，涂层的反射率优于SSiC陶瓷。这主要归因于表面粗糙度和涂层中氧元素对反射率共同作用的结果。