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对[001]取向的一种镍基单晶高温合金进行了1050℃,160MPa的拉伸蠕变试验。结合合金性能数据和变形形貌、位错组态的观察,分析了不同热处理制度对合金在高温低应力条件下蠕变性能的影响。结果表明,尺寸为0.4μm左右、规则排列的立方γ′具有较好的高温蠕变性能,而较小的γ′和较大的γ′均不利于合金在高温下的蠕变性能;二次时效处理对提高合金高温蠕变强度的作用不大;筏形组织的完善程度影响合金高温下的蠕变性能;二次γ′相不利于提高合金高温蠕变性能。