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分析了薄壁裂缝线源的变形原因,提出了采用预反变形提高薄壁裂缝线源成型精度的工艺方法。基于显式非线性动力分析程序ANSYS/LS-DYNA建立有限元模型,模拟了薄壁波导的预反变形过程,进行了回弹量计算,确定了工装设计尺寸。通过产品的实物加工,验证了该工艺的可行性和数值模拟的准确性、工装设计的可靠性。应用该工艺方法成型后的薄壁裂缝线源其变形量得到有效控制,成型精度显著提高。